| 发明名称 |
CLEANING DEVICE FOR PRESSURE SENSOR AND CLEANING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10294472(A) |
申请公布日期 |
1998.11.04 |
| 申请号 |
JP19970104125 |
申请日期 |
1997.04.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
SAITO HIROSHI;INOUE TOMOHIRO |
| 分类号 |
G01L9/04;B08B3/08;G01L9/00;H01L21/304;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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