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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING OXIDE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0146173(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19950008135 申请日期 1995.04.07
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 UM, KEUM-YONG;JUNG, EE-SUN
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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