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发明名称 MAGAZINE MOVING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURER
摘要
申请公布号 KR0125565(Y1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19950013948U 申请日期 1995.06.20
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR CO.,LTD;ANAM INSTRUMENT CO.,LTD 发明人 YUN, SUK-MIN;KIM, JAE-HYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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