发明名称 METHOD FOR PLANARIZATION INTERLAYER INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0147648(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19950015592 申请日期 1995.06.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 LEE, SOO-CHUN;KIM, YOUNG-WOOK
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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