发明名称 HEATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0147046(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19910007381 申请日期 1991.05.07
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LIMITED 发明人 DANAKA, SUSUMU
分类号 H05B3/02;F27D11/02;H05B3/66;(IPC1-7):F27D11/02 主分类号 H05B3/02
代理机构 代理人
主权项
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