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发明名称 RETICLE AND METHOD FOR FORMING ALIGN-KEY PATTERN USING IT
摘要
申请公布号 KR0147641(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19950013961 申请日期 1995.05.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 WON, SUNG-KEUN;HAN, SEUNG-SIK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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