| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING THE GENERATION OF DUST PARTICLES AND A CLEAN ROOM EQUIPPED WITH THE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0146017(B1) |
申请公布日期 |
1998.11.02 |
| 申请号 |
KR19940034402 |
申请日期 |
1994.12.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD. |
发明人 |
NISHIYAMA, HIROAKI;NAKANO, KATSUYUKI |
| 分类号 |
G01N15/10;F24C7/06;G01N1/02;G01N1/26;G01N15/06;G01N15/14;(IPC1-7):H01L21/18 |
主分类号 |
G01N15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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