发明名称 MASK FOR SHIFTING PHASE
摘要
申请公布号 KR0153287(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19920073253 申请日期 1992.12.16
申请人 OKI ELECTRONIC IND. CO.,LTD 发明人 OHTSUKA, HIROSHI;ABE, KAZUTOSHI;TAKUCHI, TAKASHI
分类号 G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/08;H01L21/027 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址