| 发明名称 |
Method and apparatus for alignment of a wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL123575(D0) |
申请公布日期 |
1998.10.30 |
| 申请号 |
IL19980123575 |
申请日期 |
1998.03.05 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/68;G01B11/00;G03F9/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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