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发明名称
摘要
申请公布号	JP2818271(B2)	申请公布日期	1998.10.30
申请号	JP19900188445	申请日期	1990.07.17
申请人		发明人
分类号	C30B15/20;C30B29/06;C30B30/04;H01L21/208;(IPC1-7):C30B30/04	主分类号	C30B15/20
代理机构		代理人
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