| 发明名称 |
CAPTEUR, NOTAMMENT ACCELEROMETRE, ET ACTIONNEUR, ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE DE CAPTEUR OU D'ACTIONNEUR A ISOLATION ELECTRIQUE LOCALISEE DANS UNE PLAQUE DE SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2754349(B1) |
申请公布日期 |
1998.10.30 |
| 申请号 |
FR19960012062 |
申请日期 |
1996.10.03 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BRUN JEAN;DANEL JEAN SEBASTIEN |
| 分类号 |
G01P15/08;G01P15/125;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/125;G01P15/135 |
主分类号 |
G01P15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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