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发明名称
摘要
申请公布号
JP2817604(B2)
申请公布日期
1998.10.30
申请号
JP19930344179
申请日期
1993.12.17
申请人
发明人
分类号
C23C10/08;C23C10/28;C23C16/24;(IPC1-7):C23C10/08
主分类号
C23C10/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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