| 申请人 |
HOECHST AG, 65929 FRANKFURT, DE;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH, 55129 MAINZ, DE |
发明人 |
BRUECK, MARTIN ., D-61276 WEILROD, DE;VAAHS, TILO, DR., D-65510 IDSTEIN, DE;BOECKER, WOLFGANG, DR., D-65817 EPPSTEIN, DE;EHRFELD, WOLFGANG, PROF. DR., D-55116 MAINZ, DE;LACHER, MANFRED, D-55116 MAINZ, DE;GIEBEL, LUDWIG, D-55129 MAINZ, DE |
