发明名称 Fabrication of microcircuits
摘要
申请公布号 GB1043719(A) 申请公布日期 1966.09.21
申请号 GB19630046418 申请日期 1963.11.25
申请人 CLEVITE CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/8222;H01L27/06 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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