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发明名称 Verfahren zur Herstellung amorpher hydrogenisierter Silikonfilme
摘要
申请公布号 DE69318350(T2) 申请公布日期 1998.10.29
申请号 DE19936018350T 申请日期 1993.07.30
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHMI, KAZUAKI, OHTA-TU, TOKYO 146, JP
分类号 C23C14/16;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34;H01L21/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/16
代理机构 代理人
主权项
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