单体加速度传感器

摘要

一种单体加速度传感器包括:一固定部;两个可动质量部和一个端部固定于所述可动质量部的谐振子;一个围绕这两个可动质量部的柔性框架;以及两个将该框架连接于第二可动质量部和连接于固定部的连接件。框架在谐振子和固定部之间提供一个机械滤波器,且固定部不受谐振子振动的影响。谐振子的品质因数Q值不降低且由此传感器提供的测量更精确。在一个差分输出加速度计中,传感器的位置由另一个传感器的位置导出,相同传感器绕平行于谐振子的一条轴线转动180°,这些传感器的多个固定部固定在一起。

主权项

1.一种单体加速度传感器，包括一固定部(1)、一可动质量部(2)和一谐振子(3)，该谐振子(3)的两端之一固定于可动质量部(2)，其特征在于它包括一第二可动质量部(4)，固定于谐振子(3)的另一端，一围绕这两个可动质量部(2，4)的柔性框架(5)，一将该框架(5)连接于第二可动质量部(4)的第一连接件(6)，和一将该框架(5)连接于固定部(1)的第二连接件(7)。