Thin-film fabrication method and apparatus,申请号EP19980300355-传众专利搜索

发明名称	Thin-film fabrication method and apparatus
摘要
申请公布号	EP0854024(A3)	申请公布日期	1998.10.28
申请号	EP19980300355	申请日期	1998.01.19
申请人	AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY OF MINISTRY OF INTERNATIONAL TRADE AND INDUSTRY;DAINICHISEIKA COLOR & CHEMICALS MFG. CO., LTD.;HIRAGA, TAKASHI;MORIYA, TETSUO	发明人	HIRAGA, TAKASHI;MORIYA, TETSUO;TANAKA, NORIO;YANAGIMOTO, HIROMITSU
分类号	B05D3/00;B01J19/00;B05B7/24;B05B12/10;B05D1/02;B05D7/24;B29C41/08;B29C41/50;C08J5/18;C23C4/12;C23C26/00;H01L51/50;H05B33/10;(IPC1-7):B29C41/08	主分类号	B05D3/00
代理机构		代理人
主权项
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