| 发明名称 |
METHOD TO DETERMINE DEPTH PROFILES IN AN AREA OF THIN COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0873574(A1) |
申请公布日期 |
1998.10.28 |
| 申请号 |
EP19970912175 |
申请日期 |
1997.10.13 |
| 申请人 |
BENNINGHOVEN, ALFRED |
发明人 |
BENNINGHOVEN, ALFRED;NIEHUIS, EWALD |
| 分类号 |
H01J37/252;G01B15/00;H01J37/30;H01J49/14;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/252 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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