发明名称 |
Method and device for measuring lengths and distances |
摘要 |
<p>Um die beispielsweise aufgrund von Temperaturänderungen bzw. -schwankungen auftretenden Längenänderungen einer Meßeinrichtung (20) bei der optischen Messung von Längen und Entfernungen zu berücksichtigen, wird ein Meßverfahren und eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens vorgeschlagen, bei denen gegenüber den vorbekannten Verfahren bzw. Vorrichtungen der Referenzstrahl (7) eines Interferometersystems wie der Meßstrahl (6) aus dem Meßkopf (2) herausgeführt und an einem Reflektor (12) reflektiert wird. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP0874215(A2) |
申请公布日期 |
1998.10.28 |
申请号 |
EP19980104535 |
申请日期 |
1998.03.13 |
申请人 |
TECHNOMESS QUALITAETSSICHERUNGS- SYSTEME GESELLSCHAFT MBH |
发明人 |
RAFF, HELMUT |
分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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