| 发明名称 |
Exposure apparatus using a catadioptric projection system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0602923(B1) |
申请公布日期 |
1998.10.28 |
| 申请号 |
EP19930310037 |
申请日期 |
1993.12.13 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKAHASHI, KAZUHIRO;MURAKI, MASATO |
| 分类号 |
G02B17/08;G02B27/28;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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