发明名称 CAVITY SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10289963(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970013790 申请日期 1997.01.28
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI HIDEYUKI
分类号 H01L23/10;(IPC1-7):H01L23/10 主分类号 H01L23/10
代理机构 代理人
主权项
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