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发明名称
CAVITY SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH10289963(A)
申请公布日期
1998.10.27
申请号
JP19970013790
申请日期
1997.01.28
申请人
SONY CORP
发明人
TAKAHASHI HIDEYUKI
分类号
H01L23/10;(IPC1-7):H01L23/10
主分类号
H01L23/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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