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发明名称 CARRIER FILM AND INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10289932(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970278900 申请日期 1997.10.13
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SAKURAI KAZUNORI
分类号 H01L21/60;H01L23/12;H01L23/48;H01L23/498;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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