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发明名称 PROBE FOR INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH10288627(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970098869 申请日期 1997.04.16
申请人 REITETSUKU KK 发明人 SATO MASANAO;UEHARA HIDEO
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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