发明名称 REDUCE PRESSURE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10289880(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970099150 申请日期 1997.04.16
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HONDA YUJI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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