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发明名称 METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10286515(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970100177 申请日期 1997.04.17
申请人 CANON INC 发明人 OYAMA JUNJI;MORIKAWA YUUKO
分类号 B05D1/20;B01J19/00;H05K3/28;(IPC1-7):B05D1/20 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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