SCANNING ELECTRON MICROSCOPE,申请号JP19970095570-传众专利搜索

发明名称	SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH10289681(A)	申请公布日期	1998.10.27
申请号	JP19970095570	申请日期	1997.04.14
申请人	HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK	发明人	OKURA AKIMITSU;FURUYA HISAHIRO;MIYAMOTO RYOICHI;NAGASE AKIHITO;TOMIZAWA JUNICHIRO;ITO MASUHIRO
分类号	H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244	主分类号	H01J37/244
代理机构		代理人
主权项
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