发明名称 CIRCUIT BOARD SUPPORTING DEVICE, AND METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 JPH10288646(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970095594 申请日期 1997.04.14
申请人 MICRONICS JAPAN CO LTD 发明人 KIMURA KATSUHIKO;MIURA KAZUYOSHI
分类号 G01R31/28;G01R31/00;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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