| 发明名称 |
LAMINATED THIN FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10287493(A) |
申请公布日期 |
1998.10.27 |
| 申请号 |
JP19970103826 |
申请日期 |
1997.04.07 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
YANO YOSHIHIKO;NOGUCHI TAKAO |
| 分类号 |
C30B29/32;H01G7/06;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L31/0264;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/32;H01L31/026 |
主分类号 |
C30B29/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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