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发明名称 VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10287976(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970114492 申请日期 1997.04.15
申请人 TOSHIBA GLASS CO LTD 发明人 SONE YOSHIOMI
分类号 C23C14/24;C23C14/50;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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