发明名称 METHOD OF MANUFACTURING PHOTOMASK
摘要
申请公布号 RU1108901(C) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 SU19823528375 申请日期 1982.11.12
申请人 PERESLAVSKIJ FILIAL VSESOJUZNOGO GOSUDARSTVENNOGO NAUCHNO-ISSLEDOVATEL'SKOGO I PROEKTNOGO INSTITUTA KHIMIKO-FOTOGRAFICHESKOJ PROMYSHLENNOSTI 发明人 LOSIEVSKAJA N.V.;AVER'JANOVA N.A.;SHVARTSVAL'D A.I.;POLJAKOV S.I.
分类号 G03C5/00;G03F1/82;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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