发明名称 WELL FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10289884(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970329983 申请日期 1997.12.01
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 JIN HO KIM
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/74;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
地址