| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10284488(A) |
申请公布日期 |
1998.10.23 |
| 申请号 |
JP19970084750 |
申请日期 |
1997.04.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKATSUKA YASUHIKO;TANABE YOSHIKAZU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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