发明名称 COATER AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10284397(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970102438 申请日期 1997.04.07
申请人 CANON INC 发明人 MATSUO MANABU
分类号 B05D1/26;B05C5/02;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
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