首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH10284470(A)
申请公布日期
1998.10.23
申请号
JP19970086580
申请日期
1997.04.04
申请人
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD
发明人
FURUMITO NORISUKE;YOSHIMORI HIROAKI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
一种基于指示灯的信息提示方法和装置
消息推送方法和装置
双端输入大功率高速方向耦合光波导探测系统
一种电液负载模拟装置自适应鲁棒力控制方法
一种高效的非凸体连续碰撞检测的方法
一种基于非线性观测器的自主水下航行器运动控制方法
互联网新闻的去重方法和装置
基于二维码扫描的手持呼叫器电路
编译应用更新方法及系统
一种扩展存储设备的连接方法及装置
一种LED多芯片模块中芯片间热耦合及结温分布的测量方法
一种多媒体的操作流程
一种通过低功耗远距离射频无线网络智能控制系统及方法
一种控制器
数字化核能谱测量系统中的脉冲基线估计方法
一种经编机生产数据采集及管理系统
处理数据的装置和方法
一种城市道路空气净化智能型控制系统及方法
一种2D特效绘制方法
一种矿井内单车道车辆运行控制信号系统及其控制方法