发明名称 METHOD OF FORMING OHMIC ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH10284436(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970093674 申请日期 1997.04.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTA TOSHIMICHI;KITAHATA MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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