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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10284587(A)
申请公布日期
1998.10.23
申请号
JP19970082729
申请日期
1997.04.01
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
IBA JUNICHIRO;KOYAMA HIROSUKE
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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