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发明名称
WAVINESS MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10281714(A)
申请公布日期
1998.10.23
申请号
JP19970092035
申请日期
1997.04.10
申请人
NIKON CORP
发明人
ICHIKAWA HAJIME
分类号
G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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