发明名称 |
FLUORESCENT X-RAY ANALYSIS METHOD AND APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10282022(A) |
申请公布日期 |
1998.10.23 |
申请号 |
JP19970089047 |
申请日期 |
1997.04.08 |
申请人 |
RIGAKU IND CO |
发明人 |
ARAI TOMOYA;YAMADA TAKASHI |
分类号 |
G01N23/223;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/223 |
主分类号 |
G01N23/223 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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