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发明名称 POLYVALENT ION IMPLANTATION AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10284430(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970084070 申请日期 1997.04.02
申请人 ASAHI KASEI MICRO SYST KK 发明人 NAKAJIMA REIJI
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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