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发明名称 CONNECTING CYLINDER MEMBER AND ELECTRON LENS CONSTRUCTED BY THE MEMBER
摘要
申请公布号 JPH10283961(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970088362 申请日期 1997.04.07
申请人 JEOL LTD 发明人 KASAHARA TAKASHI
分类号 H01J37/141;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
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