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发明名称 Struktur zur Kühlung einer integrierten Schaltung
摘要
申请公布号 DE69321070(D1) 申请公布日期 1998.10.22
申请号 DE1993621070 申请日期 1993.11.08
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP;Y.D.K. CO. LTD., INAGI, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AKAMATSU, SHINYA, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;MINE, SHINJI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP;SEGUCHI, HIDEKI, C/O Y.D.K. CO., LTD., INAGI-SHI, TOKYO, JP
分类号 H01L23/433;H01L23/473;(IPC1-7):H01L23/433 主分类号 H01L23/433
代理机构 代理人
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