| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen einer oder mehrerer Schichten mittels Laser mit selbstregulierender Prozeßbegrenzung. Erfindungsgemäß erfolgt dabei das Abtragen während kurzer Wechselwirkungszeiten mit Laserlicht einer solchen Wellenlänge, daß das Laserlicht von dem einen Teil des Gesamtverbundes (entweder der abzutragende oder der zu erhaltende Teil) so stark absorbiert wird, daß die Abtragschwelle des jeweiligen Materials überschritten wird und daß die Absorption des Laserlichtes bei gleicher Intensität von dem jeweiligen anderen Teil (entweder der zu erhaltende oder der abzutragende Teil) des Gesamtverbundes so gering ist, daß diese Abtragungsschwelle nicht erreicht wird.</p> |
