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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON METALLSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE59503637(D1) 申请公布日期 1998.10.22
申请号 DE19955003637 申请日期 1995.10.18
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE 发明人 MEYER, HEINRICH, D-14109 BERLIN, DE;SCHULZ, RALF, D-13465 BERLIN, DE
分类号 C23C18/31;C23C16/18;C23C18/30;C23C18/32;H01L21/288;H05K3/24;H05K3/38;(IPC1-7):C23C18/30 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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