雷射装置

摘要

本发明系有关一种雷射装置，备有：一将进行连续脉冲振荡时之各脉冲的电源电压，对应于将各脉冲特定之识别子，将一个周期部份予以记忆之记忆机构；以及一在将一个脉冲振荡时，将与该脉冲具有相同识别子之脉冲的电源电压，自上述记忆机构读出，并根据该电源电压，进生脉冲振荡之输出控制机构；可将以脉冲串式模式运转时之尖峰形成现象的影响，尽可能地除去，而更提高利用雷射光之光加工的精度。

主权项

1.一种雷射装置,系进行脉冲串式模式运转,此运转 系以 交替重复一定次数之将雷射光以一定次数连续脉 冲振荡的 连续振荡动作及将该脉冲振荡休止一定时间的停 止动作之 运转为一个周期,此外,并控制电源电压,使上述脉 冲振 荡之输出能量成为一定大小;其特征系在:备有:将 进行 连续脉冲振荡时之各脉冲的电源电压,对应于将各 脉冲特 定之识别子记忆一个周期部份之记忆机构;及在将 一个脉 冲振荡时,将具有与该脉冲相同之识别子的脉冲之 电源电 压,自上述记忆机构读出,并基于该电源电压进行 脉冲振 荡之输出控制机构者。2.如申请专利范围第1项所 述之雷射装置,其中该记忆机 构内,进行连续脉冲振荡时之各脉冲的电源电压及 输出能 量,系以对应于将各派冲特定的识别子之方式记忆 一个周 期部份,在一个脉冲振荡时,检出振荡之脉冲的实 际输出 能量,并将与振荡脉冲具有相同识别子之脉冲的输 出能量 自上述记忆机构读出,在两者之差超过一定范围时 ,补正 具有与上述振荡之脉冲相同的识别子之电源电压 之値者。3.如申请专利范围第1项所述之雷射装置, 其中系接收指 令一个脉冲振荡之触发信号,并将该触发信号之信 号接收 间隔计时,在每次接收触发信号时,系调查信号接 收间隔 ,因应该信号接收间隔,控制脉冲振荡者。4.如申请 专利范围第1项所述之雷射装置,其中系分别接 收指令一个脉冲振荡之第一触发信号、指令连续 脉冲振荡 之第二触发信号、指令一个周期终了之第三触发 信号,并 依接收之触发信号控制脉冲振荡者。5.如申请专 利范围第1项所述之雷射装置,其中系将连续 脉冲振荡之脉冲数计数,并因应该计数控制脉冲振 荡者。6.一种雷射装置,系重复进行脉冲串式模式 运转,此运转 系以交替实行将雷射光以一定次数连续脉冲振荡 的连续振 荡动作及将该脉冲振荡休止一定时间的停止动作 之运转为 一个脉冲串周期,此外,并控制雷射之激励强度,使 上述 脉冲振荡之各输出能量成为一定大小;其特征系在 :备有 :就进行上述连续振荡动作时之最初的一定个数之 各脉冲 ,将各脉冲振荡时之电源电路,对应于振荡停止时 间、一 脉冲串周期内之脉冲的次序、输出之脉冲能量的 监控値予 以记忆,并就上述最初一定个数之脉冲以降所发生 之各脉 冲,将各脉冲振荡时之激励强度,对应于输出之脉 冲能量 的监控値予以记忆之记忆机构;在进行上述连续脉 冲振荡 时,就上述最初个数之各脉冲,自记忆于上述记忆 机构之 过去的脉冲振荡之资料中,至少读出一组振荡停止 时间, 及一脉冲串周期内之脉冲的次序相同,且与此次之 脉冲振 荡的目标脉冲能量接近的输出脉冲能量之监控値 及此时的 脉冲之激励强度,并基于此一读出之値,演算此次 之脉冲 振荡时的激励强度,又基于该演算之激励强度値进 行脉冲 振荡之第一电源电压控制机构;及在进行上述连续 脉冲振 荡时,就上述最初之一定个数的脉冲以降所发生之 各脉冲 ,自上述记忆机构,读出此次脉冲串周期内已输出 之脉冲 的脉冲能量监控値及该时的激励强度値,并基于此 等値演 算此次之脉冲振荡时的激励强度値,又基于此一激 励强度 ,进行脉冲振荡之第二电源电压控制机构者。7.如 申请专利范围第6项所述之雷射装置,其中该第一 电 源电压控制机构,系读出与此次脉冲振荡之目标脉 冲能量 最接近之输出脉冲能量的监控値及该时之激励强 度二组, 使用此等二组之激励强度値,以内插演算,演算此 次之脉 冲振荡时的激励强度値者。8.如申请专利范围第6 项所述之雷射装置,其中该第一电 源电压控制机构,系读与此次脉冲振荡之目标脉冲 能量最 接近之输出脉冲能量的监控値及该时之激励强度 一组,因 应该目标脉冲能量値及读出之输出脉冲能量之监 控値的比 较结果,增减上述读出之激励强度,而演算此次脉 冲振荡 时之激励强度値者。9.一种雷射装置,系对于在一 个脉冲雷射入射时,将加工 物上之雷射光的照射区域以一定之节距挪移以使 分别预先 设定之一定个数NO的脉冲雷射入射至加工物上之 所有的点 ,以进行加工的加工装置,将脉冲雷射只连续输出 上述加 工物之脉冲加工所需的一定个数Nt(NONO之场合演算将上 述各脉冲射光振荡时之目标能量Pt,将该演算之目 标能量 Pt变化成上述设定之目标値Pd予以输出之目标脉冲 能量补 正机构者。10.一种雷射装置,系对于在将脉冲雷射 光之照射区域固 定的状态下,在加工物上照射预先设定个数NO之脉 冲雷射 ,而进行必要之加工的加工装置,连续地输出脉冲 雷射光 ;其特征系在备有:在上述各脉冲雷射光振荡时,将 输出 之脉冲雷射光的能量Pk(k=1,2,....,NO)检测出之脉 冲能量检测机构;在令设定之各脉冲雷射的目标値 为Pd, 上述连续输出之脉冲雷射光的次序为i之场合,在 上述各 脉冲雷射光振荡时,依下式:i=l之场合Pt=Pdi>l之场 合演算上述各脉冲雷射光振荡时之目标能量Pt,将 该演算 之目标能量Pt变化成上述设定之目标値Pd予以输出 之目标 脉冲能量补正机构者。图式简单说明:第一图系实 施例半 导体曝光装置的机能性构成之方块图。第二图系 电源电压 V与脉冲能量E的关系之说明图。第三图系进行脉 冲能量位 准补正时,输出控制部与控制部的处理手续之流程 图。第 四图系晶圆上晶片排列之模式图。第五图系以触 发信号Tr 之信号接收间隔为基础,进行脉冲串式模式运转时 之输出 控制部的处理手续之流程图。第六图系以光加工 周期用之 触发信号为基础,进行脉冲串式模式运转时的处理 手续之 流程图。第七图系以连续之脉冲群的脉冲数为基 础,进行 脉冲串式模式运转时的处理手续之流程图。第八 图系以只 为数脉冲之表及连续脉冲群之脉冲数为基础,进行 脉冲串 式模式运转时的处理手续之流程图。第九图系本 发明其他 实施例构成之方块图。第十图系脉冲串信号、雷 射振荡同 步信号之时序图。第十一图系第九图实施例控制 手续之流 程图。第十二图系第十一图尖峰控制子程序之流 程图。第 十三图系第十二图之尖峰控制子程序内的资料读 入子程序 及充电电压演算子程序之图。第十四图系第十二 图之尖峰 控制子程序内的资料读入子程序及光电电压演算 子程序的 其他例之图。第十五图系第十一图脉冲串内脉冲 能量控制 子程序之流程图。第十六图系第十五图脉冲串内 脉冲能量 控制子程序内的资料读出子程序之流程图。第十 七图系第 十五图脉冲串内脉冲能量控制子程序内的充电电 压演算子 程序之流程图。第十八图系脉冲振荡初期,将目标 脉冲能 量作三个不同値之变化,又将振荡停止时间作两个 不同値 之变化时,有关脉冲能量及充电电压之实验结果图 。第十 九图系第十一图实施例充电电压控制之实验结果 图。第二 十图系本发明其他实施的控制手续之流程图。第 二十一图 系第二十图流程图内目标脉冲能量补正子程序之 流程图。 第二十二图系根据阶段&扫描方式之相对IC晶片的 脉冲雷 射光之照射态样图。第二十三图系将充电电压设 成一定时 之脉冲串运转下之脉冲能量波形图。第二十四图 系第二十 三图脉冲能量波形之一个连续脉冲振荡的脉冲能 量波形之 扩大图。第二十五图系激励强度图形之图。第二 十六图系 尖峰形成现象的具体例之说明图。第二十七图系 脉冲串式 模式运转时的脉冲波形之说明图。