| 发明名称 |
A process for fabricating a device using polarized light to determine film thickness |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0768512(A3) |
申请公布日期 |
1998.10.21 |
| 申请号 |
EP19960307479 |
申请日期 |
1996.10.15 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
LEE, TSENG-CHUNG;MAYNARD, HELEN LOUISE |
| 分类号 |
G01B11/06;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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