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发明名称
GRATING STRUCTURE AND ITS USE
摘要
申请公布号
EP0765488(B1)
申请公布日期
1998.10.21
申请号
EP19950924207
申请日期
1995.06.10
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人
MOSER, HERBERT;MOELLER, KARL-DIETER
分类号
G01J3/45;G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18
主分类号
G01J3/45
代理机构
代理人
主权项
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