发明名称 Verfahren zum Herstellen einkristalliner Schichten aus vorzugsweise hexagonalem Siliciumkarbid
摘要
申请公布号 DE1236482(B) 申请公布日期 1967.03.16
申请号 DE196400S9787 申请日期 1964.03.02
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 NICKL DIPL.-CHEM. DR. JULIUS
分类号 C01B31/36 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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