一种可调温度场的加热装置

摘要

本实用新型提供了一种可调温度场的加热装置,在平面辐射加热装置上设置以二条相平行的轴,在每条轴上设置有一组翅状辐射板,每组辐射板的个数视需要为1至几十个,每个辐射板能绕自己的转轴转动和于不同角度处调节定位,通过调节反射板能将平面状辐射加热转换成横向和垂直方向的具有特定分布温度场。特别适宜于MOCVD－HgCdTe工艺的应用。

主权项

1.一种可调温度场的加热装置，包括有加热件(3)、壳体(1)、隔热垫料(4)和升降脚(2)组成的水平平面状辐射加热装置，其特征在于：a.在壳体(1)下部设置有多个升降脚(2)，在壳体上表面中间裸露出平面状辐射加热件(3)，形成辐射加热面，加热件(3)和壳体(1)之间充有隔热垫料(4)；b.在壳体(1)上表面裸露加热辐射面二侧设置有二条相平行的轴(5)，每条轴上设置有一组翅状反射板(6)，每组反射板的个数为1至几十片，每片反射板(6)能绕自己的轴转动并于一定角度调节定位。