| 发明名称 |
Multi-oxidizer slurry for chemical mechanical polishing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0831136(A3) |
申请公布日期 |
1998.10.21 |
| 申请号 |
EP19970307439 |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
CABOT CORPORATION |
发明人 |
KAUFMAN, VLASTA BRUSIC;WANG, SHUMIN |
| 分类号 |
C09K3/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/06;(IPC1-7):C09G1/02 |
主分类号 |
C09K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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