| 发明名称 |
HINGE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10280780(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
| 申请号 |
JP19970082469 |
申请日期 |
1997.04.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
MORI TAKESHI;MIYAGAWA FUMIO;SUGIYAMA SHINICHI;TAKIYAMADA TAKESHI |
| 分类号 |
E05D7/00;E05D11/00;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):E05D7/00 |
主分类号 |
E05D7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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